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RIE反應(yīng)離子刻蝕機的工作原理基于化學(xué)反應(yīng)和物理轟擊的相結(jié)合。在刻蝕過程中，刻蝕氣體在高頻電場的作用下電離形成等離子體。等離子體中的活性粒子(如離子、電子、自由基等)具有很高的化學(xué)活性，可以與被刻蝕材料表面的原子反應(yīng)生成揮發(fā)性產(chǎn)物，從而實現(xiàn)材料的化學(xué)刻蝕。同時，高能離子在陰極附近...

第七屆亞洲國際摩擦學(xué)大會暨第九屆中國國際摩擦學(xué)大會(ASIATRIB&CICT2024)于2024年9月15日在天津社會山國際會議中心酒店隆重開幕。本次大會由中國機械工程學(xué)會摩擦學(xué)分會主辦、清華大學(xué)天津裝備研究院承辦，西南交通大學(xué)、清華大學(xué)裝備界面科學(xué)與技術(shù)全國重點實驗室、華海清...

第十一屆中國微流控學(xué)術(shù)論壇暨第四屆國際微流控產(chǎn)業(yè)論壇于2024年9月21-22日在杭州寶盛水博園大酒店成功舉行。微流控芯片技術(shù)作為一項多學(xué)科交叉的新型生物分析技術(shù)，在醫(yī)療體外診斷、藥物篩選、環(huán)境監(jiān)測、食品安全、微納材料制備等眾多領(lǐng)域已獲得深入的研究和廣泛的應(yīng)用。學(xué)術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界一致...

電鏡等離子清洗機不僅在科研和工業(yè)界有著廣泛的應(yīng)用，其高效的清洗能力和材料表面改性功能也推動了現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展。確保按照正確的操作流程使用設(shè)備，不僅可以達到良好的清洗效果，還可以延長設(shè)備的使用壽命，保證操作的安全性。電鏡等離子清洗機的工作原理：-在操作過程中，需要將清洗機的工作腔通過...

反應(yīng)離子刻蝕機(RIE)，全稱為ReactiveIonEtching，是一種在半導(dǎo)體制造中廣泛使用的干法刻蝕技術(shù)。這項技術(shù)主要通過物理性和化學(xué)性的反應(yīng)來實現(xiàn)對材料的準(zhǔn)確刻蝕，以形成微細的電子結(jié)構(gòu)。能夠?qū)崿F(xiàn)較高的刻蝕精度，適用于微米甚至納米級別的圖案制作；該技術(shù)提供了良好的刻蝕方向...

“中國材料大會”是中國材料研究學(xué)會的學(xué)術(shù)年會，是重要的系列品牌會議之一，是中國新材料界學(xué)術(shù)水平最高、涉及領(lǐng)域廣、前沿動態(tài)最新的超萬人學(xué)術(shù)大會，是面向國家重大需求、推動新材料前沿重大突破的高水平品牌大會。為推動經(jīng)濟社會高質(zhì)量發(fā)展，加快建設(shè)科技強國，實現(xiàn)高水平科技自立自強，于2024...

等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運動狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(自由基)；離子化的原子、分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但...

等離子表面處理儀是一種利用放電形成的等離子體對材料表面進行處理的設(shè)備。等離子體是一種由電子、離子、原子和分子等粒子組成的電中性物質(zhì)，具有高度活性和能量。通過控制等離子體的產(chǎn)生和處理條件，可以對材料表面進行微觀級別的處理，實現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等多種目的。等離子表面處理儀的工作...